化合物ライブラリを用いることで、クロマト分離を行わずに、気体中ターゲット化合物をCIイオン化により pptレベルでリアルタイムに定量することができます。
CIイオン化に使用するリージェントイオン（H3O＋,NO＋,O2＋,OH－,O2－,O－,NO2－,NO3－)は水とエアーから生成されますので安全かつ簡便です。
リージェントイオンは四重極により高速で切替されるので、1回の分析で最大22種のイオン化反応によるプロダクトイオン情報が得られます。
水分に強く、アンモニア、HF、HCLを含む有機＆無機化合物の濃度変化を リアルタイム＆ダイレクトにpptレベルで定量しながらモニタリングすることが可能です。

≪主要アプリケーション≫
・半導体クリーンルーム中のAMCの変化モニタリング

• リージェントイオン生成・選択(Reagent Ion Selection)

  サンプルはCI（Chemical　Ionization)イオン化により非常にソフトにイオン化されるため、親イオンが生成しやすくなります。 CIイオン化に使われるリージェントイオン最大8種（H3O＋,NO＋,O2＋,OH－,O2－,O－,NO2－,NO3－）はマイクロ波により水と大気から生成され、四重極により選択されたリージェントイオンのみがフローチューブへ到達します。
  四重極によるリージェントイオンの切替は10ミリ秒程度で行われるため1度の分析で最大8種のリージェントイオンを用いることができます。

  ※オプションにより、OH－,O－,NO3－,NO2－ を追加可能

• サンプルのイオン化(Analyte Ionisation)

  四重極を通過したリージェントイオンはキャリヤーガスによって運ばれます。電場による加速エネルギーを与えないため、サンプルをソフトにイオン化することができます。
  フローチューブ内の温度、圧力が正確に制御されているため化合物ごとの反応速度定数”k”はライブラリに登録して用いることができます。従って、ターゲット化合物ごとに標準物質で検量線を作成しなくとも定量することが可能です。
  水分子の付加されたプロダクトイオンもライブラリ登録されていますので、呼気、湯気の出てる飲料など湿度の高いサンプルもそのまま分析することが可能です。

  

• 検出・定量(Analyte Quantitation)

  四重極のマス軸調整、質量ごとの感度調整などチューニングはSyft標準ガスで自動的に行われ、装置コントロールファクター（ICF）として保存されます。（右図γ）。

  

Proton transfer / プロトン移動	Dissociative charge transfer / 電荷移動解離
H3O+ + Analyte→Analyte.H+ + H2O H3O+からH+が化合物へ移動するイオン化 H3O+で主要な反応。	O2+ + Analyte → Fragment++ Neutral fragment(s) + O2+ 過剰なイオン化エネルギーにより、フラグメントを起こしてイオン化する反応。
Charge transfer / 電荷（電子）移動	Association / イオン会合
O2+ + Analyte → Analyte+ +　 O2 NO+ + Analyte → Analyte+ + NO O2+イオンが化合物から電子を奪うイオン化。 O2+で主要な反応。 時々、 NO+でも起こるモードでもある。	NO+ + Analyte + M → Analyte. NO+ + M H3O+ + Analyte +M →Analyte. H3O+ + M サンプルとＭ（キャリアガスのHe/N2、サンプル中のN2やO2）とリージェントイオンの3つが衝突することにより、過剰エネルギーを減少させ、サンプルとのコリジョンエネルギーを減少させるため、よりソフトにオン化。リージェントイオンが付加される反応。
Hydride abstraction / プロトン引き抜き
NO+ + Analyte→ [Analyte－H]+ + HNO リージェントイオンが化合物からプロトンを受け取り、分子イオンからプロトンが引き抜かれたイオンを生成する反応。

アセトンとプロパナールはどちらも同じm/z 58です。最大8種類のリージェントイオンH3O＋,NO＋,O2＋,OH－,O2－,O－,NO2－,NO3－でプロダクトイオンを比較してみましょう。
H3O+ではm/z 59で区別できませんが、NO+でイオン化するとアセトンはm/z　88、プロパナールはm/z 57　でそれぞれ干渉せずに定量できることが分かります。

半導体クリーンルーム汚染状況測定

SIFT-MSアプリケーションノート　半導体分野応用例