SIFT-MSは、半導体製造工場においてクリーンルーム内の有機・無機気体の分子状汚染物質(AMCs)の選択的リアルタイム定量を広いダイナミックレンジで行うことができます。
これにより、まったく異なる濃度レベルでおきる個別のAMCs の濃度変化をリアルタイムかつ選択的にとらえることが可能となり、より高度な工程管理ができるようになります。