半導体製造工場において、運用効率および歩留まりの最大化を確保するためには、空気中の分子状汚染物質（AMC)を信頼性高く、化合物種毎に測定することが不可欠です。本稿では、揮発性有機化合物および無機化合物（VOC/VIC）を対象としたリアルタイムかつ連続的なモニタリングのために、選択イオンフローチューブ質量分析法（SIFT-MS）製品を応用した事例を紹介します。